●本装置使用电阻蒸发、电子束蒸发和离子源辅助清洗、辅助沉积和原位刻蚀进行复合,用于制备特种薄膜,薄膜具有均匀性、附着力、抗损伤、低颗粒物污染等特点,是半导体制程中关键工序的核心装备,其技术长期被美国、日本等国技术巨头所垄断,属于国内卡脖子装备,也是制约国内半导体领域自主可控的关键设备,该设备的技术突破和产业化对国内半导体产业发展具有积极意义。
●本装置使用电阻蒸发、电子束蒸发和离子源辅助清洗、辅助沉积和原位刻蚀进行复合,用于制备特种薄膜,薄膜具有均匀性、附着力、抗损伤、低颗粒物污染等特点,是半导体制程中关键工序的核心装备,其技术长期被美国、日本等国技术巨头所垄断,属于国内卡脖子装备,也是制约国内半导体领域自主可控的关键设备,该设备的技术突破和产业化对国内半导体产业发展具有积极意义。
成立日期 | 2015年11月16日 | ||
法定代表人 | 向世玲 | ||
注册资本 | 50 | ||
主营产品 | 光学器件 光电设备 电子设备 | ||
经营范围 | 计算机软硬件开发;光学器件、光电设备、电子设备、自动化控制设备、环境保护专用设备、机电设备的研发、销售及技术服务,销售:五金交电、建材(不含危险化学品)、日用品;网上贸易代理。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营)。 | ||
公司简介 | 成都汉普升科技有限公司,成立于2015年11月16日,致力于电真空、核级装备、人工晶体材料及薄膜制备设备的技术提升,在服务领域深耕细作,具有较深的技术沉积。公司成立以来,秉承“超越极限,迈向卓越”的核心价值观,在自己所擅长领域为客户提供优良的产品和技术解决方案,公司注重产品和运营模式创新,我们坚信:唯有创新方能给用户增值,公司已与多家科研院所、高等院校及企事业单位进行横向合作,形成了科研级、工业级 ... |