日本日立HITACHI，半导体蚀刻系统9000系列，成都供应
更新：2019-04-01 17:16 编号：6073332 发布IP：118.112.136.154 浏览：92次
- 发布企业
- 西崎贸易（成都）有限公司商铺
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- 关键词
- 日立，HITACHI，半导体蚀刻系统，成都，9000系列
- 所在地
- 成都市高新西区南北大道时代豪廷广场A栋1203室
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详细介绍
供应日本日立HITACHI半导体蚀刻系统9000系列 的详细介绍
新的9000系列的串接式平台，其模组腔室设计，可以提供制程使用的弹性以及未来的扩充性。
有助于顺利过渡到未来450mm晶圆用设备的平台和用户界面标准化整合。
9000系列平台采用了日立成熟的微波ECR（Electron CyclotronResonance）等离子体蚀刻腔室，已经过大批量生产的考验。
| 应用晶圆直径 | 300mm |
|---|---|
| 装置构成 | 9 chambers (max.) |
※
部分规格会与照片不一样。
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