日本日立HITACHI,半导体蚀刻系统9000系列,成都供应

2019-04-01 17:16 118.112.136.154 2次
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日立,HITACHI,半导体蚀刻系统,成都,9000系列
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供应日本日立HITACHI半导体蚀刻系统9000系列  的详细介绍

  1. 新的9000系列的串接式平台,其模组腔室设计,可以提供制程使用的弹性以及未来的扩充性。

  2. 有助于顺利过渡到未来450mm晶圆用设备的平台和用户界面标准化整合。

  3. 9000系列平台采用了日立成熟的微波ECR(Electron CyclotronResonance)等离子体蚀刻腔室,已经过大批量生产的考验。


应用晶圆直径300mm
装置构成9 chambers (max.)
  • 部分规格会与照片不一样。


所属分类:中国仪表网 / 其他仪器仪表
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