科研、生产、旗舰型探针台T-200型
样品台材质:铝合金、PTFE、陶瓷、镀金(可选)
样品台尺寸:6、8、12英寸 ,全吸附孔设计。
光学倍率:20X~50X/100X/500X/1000X(选配)
台面具有一杆升降、带探针预接触功能、探针悬浮功能
台面升降功能:0~0.25mm/40mm/50mm(可调)
显微镜单元具备气动升高功能,可升高60mm。
Chuck具有一杆升降、微调升降功能
Chuck具有可360度旋转,可±5度精细微调
Chuck具有快速位移功能(X轴、Y轴)
标配3个样品台,分别应用于晶圆、晶粒(单颗芯片)、MEMS模组(或校准片)
针座平台C型设计,可放置4~8个探针座
整体:670mm长*755mm宽*572mm高
重量:约100千克