FEI 扫描电子显微镜

FEI 是一家美国生产、经营多种科学仪器的业内企业。其产品包括电子和离子束显微镜，以及可满足多个行业纳米尺度应用的相关产品，凭借过去 60 年的技术创新历史和业内领导地位， FEI 成为了透射电子显微镜 (TEM)、扫描电子显微镜 (SEM)、整合了 SEM与聚焦离子束 (FIB) 的 DualBeam™仪器和用于精密高速切割与加工的专用聚焦离子束仪器的 性能标准。

Quanta 250FEG场发射系统主要特点：

Ø分辨率:

    高真空:30 kV下0.8 nm (STEM)* - 30 kV下1.0 nm(SE) - 30 kV下2.5 nm (BSE)* - 1kV下3.0 nm (SE)

    高真空下减速模式*：1 kV下3.0 nm(BSE)* - 1 kV下2.3 nm(ICD)* - 200 V 下3.1 nm (ICD)*

    低真空:30 kV下1.4 nm (SE) - 30 kV下 2.5 nm(BSE) - 3 kV下3.0 nm(SE)

   环境真空:  (ESEM) - 30 kV下1.4 nm(SE) (ESEM)  1.4 nm at 30 kV (SE)

Ø灯丝：超高亮度Schottky场发射灯丝。3 加速电压：200V - 30 kV, 连续可调

Ø探测器：E-T二次电子探测器;背散射探测器;FEI独特的STEM探测器，分辨率达到0.8nm

Ø50x50mm4轴马达驱动全对中样品台

Ø真空度：样品室真空度 (高真空模式)< 6e-4 Pa;样品室真空度(低真空模式)< 10 to 130 Pa

        样品室真空度(环境真空模式)< 10 to 4000 Pa

Ø 典型换样时间: 高真空模式≤ 150秒；低真空及环境真空模式≤270秒;

Ø 样品室: 左右内径284mm; 10 mm分析工作距离8个探测器 / 附件接口;

Ø 样品台: X/Y= 50 mm; Z = 50 ; 手动倾斜:-15° - +75°; 连续旋转360°;

       重复精度:2 μm (X/Y方向)

Quanta 250钨灯丝系统主要特点 ：

Ø分辨率：二次电子（SE）成像：

Ø     高真空模式：     3.0nm @30kV(SE)；4.0nm@30kV(BSE)；8.0nm @3kV(SE)

Ø     低真空模式：     3.0nm @30kV(SE)； 4.0nm@30kV(BSE)； 10.0nm @3kV(SE)；

Ø    环境真空模式：3.0nm @30kV(SE)

Ø电子枪：高亮度、方便维护的钨灯丝电子枪

Ø样品室可容纳样品左右直径284 mm，同心样品台，四轴自动，可安装EDS、冷却台附件

Ø移动max范围：X= 50mm /Y = 50 mm /Z = 50mm /R=360°；倾斜T：范围不小于-15°～75°(手动)

Ø探测器： E-T二次电子探测器，低真空模式LFD二次电子探头;可选背散射探测器；样品室IR-CCD 相机

Ø图像扫描：4096×3536像素；图像显示1280×1024像素。