FEI 是一家美国生产、经营多种科学仪器的业内企业。其产品包括电子和离子束显微镜,以及可满足多个行业纳米尺度应用的相关产品,凭借过去 60 年的技术创新历史和业内领导地位, FEI 成为了透射电子显微镜 (TEM)、扫描电子显微镜 (SEM)、整合了 SEM与聚焦离子束 (FIB) 的 DualBeam™仪器和用于精密高速切割与加工的专用聚焦离子束仪器的 性能标准。
Quanta 250FEG场发射系统主要特点:
Ø分辨率:
高真空:30 kV下0.8 nm (STEM)* - 30 kV下1.0 nm(SE) - 30 kV下2.5 nm (BSE)* - 1kV下3.0 nm (SE)
高真空下减速模式*:1 kV下3.0 nm(BSE)* - 1 kV下2.3 nm(ICD)* - 200 V 下3.1 nm (ICD)*
低真空:30 kV下1.4 nm (SE) - 30 kV下 2.5 nm(BSE) - 3 kV下3.0 nm(SE)
环境真空: (ESEM) - 30 kV下1.4 nm(SE) (ESEM) 1.4 nm at 30 kV (SE)
Ø灯丝:超高亮度Schottky场发射灯丝。3 加速电压:200V - 30 kV, 连续可调
Ø探测器:E-T二次电子探测器;背散射探测器;FEI独特的STEM探测器,分辨率达到0.8nm
Ø50x50mm4轴马达驱动全对中样品台
Ø真空度:样品室真空度 (高真空模式)< 6e-4 Pa;样品室真空度(低真空模式)< 10 to 130 Pa
样品室真空度(环境真空模式)< 10 to 4000 Pa
Ø 典型换样时间: 高真空模式≤ 150秒;低真空及环境真空模式≤270秒;
Ø 样品室: 左右内径284mm; 10 mm分析工作距离8个探测器 / 附件接口;
Ø 样品台: X/Y= 50 mm; Z = 50 ; 手动倾斜:-15° - +75°; 连续旋转360°;
重复精度:2 μm (X/Y方向)
Quanta 250钨灯丝系统主要特点 :
Ø分辨率:二次电子(SE)成像:
Ø 高真空模式: 3.0nm @30kV(SE);4.0nm@30kV(BSE);8.0nm @3kV(SE)
Ø 低真空模式: 3.0nm @30kV(SE); 4.0nm@30kV(BSE); 10.0nm @3kV(SE);
Ø 环境真空模式:3.0nm @30kV(SE)
Ø电子枪:高亮度、方便维护的钨灯丝电子枪
Ø样品室可容纳样品左右直径284 mm,同心样品台,四轴自动,可安装EDS、冷却台附件
Ø移动max范围:X= 50mm /Y = 50 mm /Z = 50mm /R=360°;倾斜T:范围不小于-15°~75°(手动)
Ø探测器: E-T二次电子探测器,低真空模式LFD二次电子探头;可选背散射探测器;样品室IR-CCD 相机
Ø图像扫描:4096×3536像素;图像显示1280×1024像素。